一、 產（chǎn）品描（miáo）述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各種精密器件及材（cái）料表麵進行亞納米級測量的檢測儀（yí）器。它是以白光幹涉技術（shù）為原理、結合精密Z向掃描（miáo）模塊、3D 建（jiàn）模算法等對（duì）器件表麵進行（háng）非接觸式（shì）掃描並建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器件表（biǎo）麵（miàn）3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器（qì）件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學（xué）檢測儀（yí）器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏（píng）及其精（jīng）密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業（yè）及航空航天、國防軍（jun1）工（gōng）、科研院所等領域中。可測各類從超光滑（huá）到粗糙、低反射率到高反射率的物體表麵，從納（nà）米到微米級（jí）別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準（zhǔn）。

二（èr）、產品功能

1）係（xì）統光源及壽命：雙LED光（guāng）源（yuán）（白光和綠光），10萬小時（shí）超長壽命，終（zhōng）身無需更換；

2）測（cè）量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多區域（yù）自動分析（xī）：自動獲取圖案化形貌區域的三維信（xìn）息（高度、寬度（dù）、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分析功能。

4）具（jù）備各種類型樣品表麵微觀形貌的3D輪（lún）廓重建與測量功能；

5）具備表麵（miàn）粗糙度和微觀（guān）輪廓的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具（jù）備粗糙度分析、輪廓分（fèn）析、結構分析、功能分析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自動多區（qū）域測量、自動拚接測量等（děng）自動化功能（néng）；

9）具備一鍵分析、多文（wén）件分析等（děng）快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報（bào）表導出功能。

三、應用領域

　　對各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度（dù）、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨（mó）損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度（dù）、彎曲變形情（qíng）況、加工情況（kuàng）等表麵形貌特征進行測量和分析。

應用範例：

半導體.拋光（guāng）矽片、減薄矽片（piàn）、晶圓IC
3C電子（zǐ）.藍寶石（shí）玻璃粗糙（cāo）度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差
超精密加工.光學透鏡（jìng）	精密加工.發動機葉片
精密加（jiā）工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線（xiàn）台階（jiē）、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采用光學幹涉技術（shù）、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測（cè）量係統，保（bǎo）證測量精（jīng）度高；

2）獨特的隔振係統，能夠有效（xiào）隔離頻率2Hz以上絕大部（bù）分振動，消除地麵振動噪（zào）聲和空（kōng）氣（qì）中聲波振動噪聲，保（bǎo）障儀器在大部（bù）分的生產車間環境中（zhōng）能穩定使用，獲得極高的測（cè）量（liàng）重複（fù）性。

2.一體化（huà）操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界麵操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便於（yú）用戶實時觀（guān）察掃描過（guò）程；

3）幾何分（fèn）析、粗糙度分析、結構分析、頻率（lǜ）分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組（zǔ）合分析項保存為分析模板，批量（liàng）樣（yàng）品一（yī）鍵分析，並提（tí）供數據分析與統計圖（tú）表功能；

5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個方向位移調整（zhěng）功能（néng）的（de）操縱（zòng）手柄，可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找（zhǎo）條紋等測量前工作。

 4.雙重防撞保護措施（shī）

　　除初級的軟件（jiàn）ZSTOP設（shè）置Z向位移（yí）下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳（chuán）感器，當鏡頭觸碰到樣品表麵時，儀器自動進入緊（jǐn）急停止狀態，最大（dà）限度的保護（hù）儀器，降低人為操作（zuò）風險。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以接（jiē）入客戶現場的穩定氣（qì）源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接（jiē）氣源（yuán）的條件下也可（kě）穩定工作。

五、應用案例：

六（liù）、樣品測試報告：

　　點擊表格內（nèi）圖片或文字可查看詳細報（bào）告數（shù）據

懇請注意：因（yīn）市場發（fā）展和產品開發的需要（yào），本產（chǎn）品資料（liào）中有關內容可能會根據（jù）實際情況（kuàng）隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。