高純水設（shè）備（超純（chún）水設備）是由多（duō）台水處理設備按工藝設計組合而成。最典型的工藝為（wéi）：雙級反滲透+EDI和雙級反滲透（tòu）+混合床工藝（yì）。高純水設備廣泛用於（yú）半導體、電子（zǐ）、精細化（huà）工、電廠、醫藥等行業。水處理工藝主要（yào）由預處理、反滲透、EDI或混合床、後級精（jīng）處理幾部分組成，根據不同水質要求，采用不同工藝，終端產水電阻率（lǜ）可達到15~18MΩ.CM以上。典型（xíng）工藝（yì）流程（chéng）為：

　　預處理（lǐ）係統－反滲透係統（tǒng）－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純（chún）水泵－紫外（wài）線殺菌器－拋光混床－精密過（guò）濾器－用水（shuǐ）對象（xiàng） （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)

　　預處理（lǐ）－反滲透（tòu）－中間水箱（xiāng）－第二級反滲透—純水箱—純水（shuǐ）泵（bèng）－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外（wài）線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水（shuǐ）對象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)

　　預處理－一級反（fǎn）滲透－加藥機（PH調節）－中間水箱－第二級反滲透－純（chún）水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺（shā）菌（jun1）器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥16MΩ.CM）(最新工藝)

　　預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器（qì）－0.2或0.5μm精（jīng）密過濾器－用水對象（≥14MΩ.CM）(最（zuì）新工藝)

　　預處理係統－反滲透（tòu）係統－中間（jiān）水箱－純水泵－粗混（hún）合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)

相關工藝水處理設備圖片：

雙級反滲透+EDI工藝

雙級反滲透+ 混合床（chuáng）+拋光混床運行現場

雙級反滲透(RO)＋EDI設備運行現場