一、 產品（pǐn）描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓（kuò）儀（yí）是一款用於對各種（zhǒng）精密器件及材料表麵進行亞納（nà）米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技（jì）術（shù）為原理（lǐ）、結合精密Z向掃（sǎo）描模塊、3D 建模算法（fǎ）等對器（qì）件表麵進行非接觸式掃描並建立（lì）表麵3D圖像（xiàng），通過係統軟件對器件表（biǎo）麵3D圖像（xiàng）進行數據處理（lǐ）與分（fèn）析，並獲取反（fǎn）映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形（xíng）貌3D測量（liàng）的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工（gōng）藝檢測、3C電子（zǐ）玻璃屏及其精密配件、光學加工、微（wēi）納材料及製造、汽車（chē）零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研（yán）院所等領域中。可測各（gè）類從超光滑（huá）到粗糙、低（dī）反（fǎn）射率到高反射率（lǜ）的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等（děng），提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外（wài）標準共（gòng）計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

1）係統光源及壽（shòu）命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直掃描幹涉（shè）模式（shì）（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多區域自（zì）動分析：自動獲取圖案化形貌區域的（de）三維信息（高度、寬度、麵積、體（tǐ）積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分析功能。

4）具備各種類型樣品表麵微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具（jù）備表麵粗糙度和微觀輪（lún）廓的檢測功能（néng），粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形狀（zhuàng）、去（qù）噪、濾波等數據處理功能（néng）；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析（xī）、結構分（fèn）析、功能分析等（děng）表麵參數分析功能；

8）具（jù）備自動對焦、自動測（cè）量、自動多區域測量、自動拚（pīn）接測量（liàng）等自動化功能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等（děng）快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出功（gōng）能。

三、應用（yòng）領域

　　對各種產品、部件（jiàn）和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情（qíng）況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工（gōng）情況等表麵形貌特征進行測量和分析。

應用範（fàn）例：

半導體.拋（pāo）光矽片、減薄矽（guī）片、晶圓IC
3C電子（zǐ）.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差
超精密加工（gōng）.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石（shí）磁頭	標準樣塊.單（dān）刻線（xiàn）台階、多刻線粗糙度

四、性（xìng）能特色

1.高精度、高重複性

1）采用光學幹涉技術、精密（mì）Z向掃描模塊和優異的（de）3D重建算法組成測量係（xì）統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係統，能夠有效（xiào）隔離頻率2Hz以上（shàng）絕大部分振動，消（xiāo）除地麵振動噪聲和空（kōng）氣中聲波振動噪（zào）聲，保（bǎo）障（zhàng）儀器（qì）在大部分的生產車（chē）間環境中能穩定使用，獲得極高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界麵操作，無須切換，測量（liàng）數據自動統計，實（shí）現（xiàn）了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口（kǒu），便於用戶實時觀察（chá）掃（sǎo）描過程；

3）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能（néng）模塊齊全（quán）；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分（fèn）析項保存（cún）為分析模板，批量樣品一鍵分析，並提供數（shù）據（jù）分析與統（tǒng）計圖表功（gōng）能；

5）可測依（yī）據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種（zhǒng）2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集（jí）成X、Y、Z三個方（fāng）向（xiàng）位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量（liàng）前工作。

 4.雙重防撞保護措施（shī）

　　除初級的軟件ZSTOP設（shè）置Z向位移下（xià）限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子（zǐ）傳感器，當鏡頭觸（chù）碰到樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險（xiǎn）。

5.雙（shuāng）通（tōng）道氣浮隔（gé）振（zhèn）係統

　　既可以（yǐ）接入客戶現場的穩定氣源也可以接入（rù）標配靜音空壓機，在無（wú）外接氣源的條件下也可穩定工作。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊（jī）表格內圖片或文字可（kě）查看詳細報告數據（jù）

懇請注意：因市場（chǎng）發展（zhǎn）和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會（huì）根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不（bú）便之處敬請諒解。