一、產（chǎn）品簡介

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵（miàn）輪廓儀是（shì）一款用於對各（gè）種精密器件及材料表麵進行亞納米級測量的檢（jiǎn）測儀器。它是以白光幹（gàn）涉技術為原理、結（jié）合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對（duì）器件表麵進行非接觸式掃描並建（jiàn）立（lì）表麵3D圖像，通過係統軟（ruǎn）件對器件表麵3D圖像進（jìn）行數據處理（lǐ）與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀（yí）器。

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀（yí）可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部（bù）件、MEMS器件等超精密加工行業及（jí）航空航天、國防軍工、科（kē）研院所（suǒ）等領域中。可測各類從（cóng）超光滑到粗（cū）糙、低反射率到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作（zuò）為評價標準。

二、產（chǎn）品功能

1.係統光源及壽命：雙LED光源（yuán）（白光和綠光（guāng）），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2.測量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉（shè）模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）

3.多區域自動分析：自動獲取（qǔ）圖案化形貌區域的三維信息（高（gāo）度、寬度、麵積、體積、粗糙（cāo）度、傾（qīng）角等），同時具有自動統計分析功能。

4.一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界麵，預先設置好配置參數再（zài）進行測量，軟件（jiàn）自動統計測量（liàng）數據並提供數（shù）據（jù）報（bào）表導（dǎo）出功能，即可快速實現批量測量功能。

5.測量中提供自動多區域測量功能、批（pī）量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。

6.測量中提供拚接測量功能。

7.分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數（shù）據處理（lǐ）功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正（zhèng）包括空間濾波、修描、尖（jiān）峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾（lǜ）波、過濾頻譜等功能（néng）；提取（qǔ）包括提取區域（yù）和提取剖麵等功能。

8.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓（kuò）分析、結構分析、頻（pín）率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依（yī）據（jù）國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178麵粗糙度、ISO12781平整度等（děng）全參數分析（xī）功能；幾何輪廓分析包（bāo）括台（tái）階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形（xíng）位公差評定等功能；結構分析（xī）包括孔洞（dòng）體積（jī）和波穀（gǔ）深度等（děng）；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析（xī）等（děng）功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

9.分析中同時提供一鍵（jiàn）分析和多文件分析（xī）等輔助（zhù）分析（xī）功能，設置分析模板，結（jié）合測量中提供的（de）自動測（cè）量（liàng）和（hé）批量測（cè）量功能，可（kě）實現對小尺寸精密器件的批量測量並直接（jiē）獲取分析數據的功能。

三（sān）、應用領域

　　對各種產品、部件和材料表麵的（de）平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺（quē）陷（xiàn）、磨損情況、腐蝕情況、孔（kǒng）隙間隙、台階高度、彎曲變（biàn）形情況、加工情況等表麵形貌特征（zhēng）進（jìn）行測量和分析。

半（bàn）導體（tǐ）.拋光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏（píng）高度差
超精密加（jiā）工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁（cí）頭	標準樣塊.單刻線台階、多刻線（xiàn）粗糙度

四、應用案例：

五、樣品測（cè）試報告：

　　點擊表格（gé）內圖片（piàn）或文字可查看（kàn）詳細報告數（shù）據

懇請注意（yì）：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內（nèi）容可能（néng）會根據實際情況隨時（shí）更（gèng）新或修改，恕不另行通知，不便之（zhī）處敬請諒解。